iFuture：静电卡盘创新主体创新体系评价（附下载地址）

这份报告由iFuture恒锐发布，围绕静电卡盘展开深入研究。报告先介绍了静电卡盘在半导体工艺中的关键作用、工作原理、结构、分类，以及其技术发展趋势和产业链情况，指出全球市场主要被国外厂商垄断。接着，从专利申请趋势、类型、法律状态、技术集中度等多方面进行宏观解析，发现全球和中国申请趋势相似，中国起步稍晚且目前处于快速发展期，专利类型以发明为主。随后，报告对全球和国内的设备厂、部件厂从申请量、发明人、引用率等维度进行专利多维排行，展示了不同企业在该领域的创新实力。最后，基于专利数据从研发体系、创新成果等五个角度对国外和国内创新主体进行创新体系评价排行，分析了各主体的创新能力，为了解静电卡盘行业的创新格局提供了全面参考。